IMT Masken und Teilungen AG, Greifensee

L'interview intégrale

Herr Dr. Willemin, IMT Masken und Teilungen AG stellt kundenspezifische Mikrostrukturen auf Glas sowie Dünnschichten in höchster Präzision her. Dürfen wir Sie bitten, uns ein wenig näher zu erklären, was damit gemeint ist?

Die IMT Masken und Teilungen AG wurde 1959 gegründet und ist seither in der Fotolithographie tätig. Die Fotolithografie ist bekannt als zentrale Methode zur Herstellung von elektronischen Chips. Dabei wird mittels der Belichtung das Bild einer Fotomaske auf einen lichtempfindlichen Fotolack übertragen. Anschliessend werden die belichteten Stellen des Fotolacks aufgelöst. Die so strukturierte Fotolackschicht kann anschliessend als Maskierung für das Ätzen der unterliegenden Metallschicht verwendet werden. Mit dieser Methode kann man sehr feine Struktur erzeugen, bis weit unter einem Mikrometer. Im Gegensatz zur Halbleiterindustrie verwendet die IMT keine Silizium-Substrate sondern Glas-Substrate (Ø von 200 mm) und strukturiert nicht nur elektrisch leitende sondern auch dielektrische Schichten. Weil die Schichten sehr dünn sind (meistens unter einem Mikrometer) spricht man von Dünnschichttechnik.

Welche Produkte werden mittels dieser Technologien gefertigt?

Unsere Produkte sind Glaskomponenten. Zum Beispiel produzieren wir Drehgeberscheiben. Eine Drehgeberscheibe ist eine Glasscheibe (Ø 40 mm z.B.) mit einer präzisen Chromgitter-struktur. Diese Scheiben werden z.B. in einem Theodolit oder in einem Drehgeber (Winkelsensor) für die Steuerung der Winkelposition oder der Geschwindigkeit eines Antriebes verwendet. Weitere Produkte sind hochpräzise Fadenkreuzstrukturen für Zielfernrohre (Sportoptik, Jagd). Für die Medizintechnik produzieren wir kleine Blenden für die Endoskopie, oder spezielle Komponenten für die Ophthalmologie und Dentaltechnik, etc.

Und wo finden Ihre Produkte überall Verwendung?

Unsere Produkte finden Verwendungen in sehr unterschiedlichen Branchen: Automation, Sportoptik, Medizintechnik, Messtechnik, Halbleiterindustrie, Forschung, sowie Raum- und Luftfahrt.

Bis in welche räumlichen Grenzen reicht dabei die Auflösung?

Der kleinste Strich, den wir herstellen können, ist nur 150 Nanometer breit (ca. ein Sechstel von einem Mikrometer).

IMT-Podukte werden kundenspezifisch entwickelt. Können Sie uns dies anhand eines Beispiels erläutern?

Die IMT ist ein Fertigungsdienstleiter im Bereich der Dünnschichttechnik und Mikrolithographie. Die IMT hat also keine «eigenen Produkte». Alles wird kundenspezifisch gefertigt. Der Kunde, der eine solche Mikrostruktur braucht, schickt uns eine Anfrage mit Zeichnungen und Anforderungen. Anhand dieser Information erstellt der technische Innendienst zusammen mit dem Engineering feste Spezifikationen, einen Operationsplan sowie eine Kostenkalkulation. Anschliessend kann der Aussendienst-Mitarbeiter dem Kunden eine Offerte unterbreiten. Wenn kein geeigneter Prozess vorhanden ist, muss zuerst einen Entwicklungsprojekt durchgeführt werden.

Der ganze Prozess – vom Entwurf bis zur Fertigung – findet bei Ihnen inhouse statt. Über welche Art von Fertigungsanlagen verfügt IMT?

Die IMT verfügt seit 2000 über einen modernen Reinraum (ca. 1200 m2). Die Betriebsmittel sind die gleichen wie in einer Halbleiter-Fab. Im Jahr 2012 hat die IMT eine top moderne Produktionslinie für 200 mmWafer eingerichtet. Diese Linie beinhaltet folgende Prozesse: Glasreinigung, Sputter-Beschichtungsanlage, Belacker, Belichter, Nassätzanlage, Glasbearbeitung (Wafersäge und CNC-Maschinen für die Rundvereinzelung) und Endreinigung.

Die Prozessentwicklungen folgen dabei konsequent den Grundsätzen Reproduzierbarkeit und Wirtschaftlichkeit. Was bedeutet dies in der Praxis?

Die Variabilität der Prozesse ist bei uns sehr hoch, was die Prozessentwicklung und die Fertigungslogistik zum echten Challenge macht.

Höchste Präzision erfordert höchste Qualität im Produktionsprozess. Wie lässt sich diese Anforderung kontinuierlich sicherstellen?

Einerseits durch kompetente und hoch motivierte Mitarbeiter und andererseits durch den Einsatz von leistungsfähigen Betriebsmitteln. Die IMT beschäftigt ca. 10 Ingenieure und Physiker (von insgesamt 75 Mitarbeitern). Es ist auch wichtig, dass man versteht, was man tut, d.h. Know-why ist genauso wichtig wie Know-how.

Dabei kommt auch der Reinheit Ihrer Produkte grösste Bedeutung zu. Welche Vorkehrungen sind notwendig, um beispielsweise Fremdpartikel auf Ihren Produkten ausschliessen zu können?

Die Staubpartikel sind klar unseren grössten Feinde. Durch ständige Überwachung der Infrastruktur (Luftqualität, Feuchtigkeit, Temperatur, etc.) und Personal-Schulung (Verhalten im Reinraum) sichern wir die Kundenanforderungen.

Version allemande (p. 44) ; une version anglaise est publiée p. 45.

Texte paru dans Swiss Knowhow – Zürcher Wirtschaft / Zurich Economy (2013), p. 44. Retranscrit de l'édition imprimée avec une assistance informatique (IA), sans réécriture ; en cas d'écart, la version imprimée fait foi.